193nm 글랜-테일러 편광판 α-BBO 복굴절 결정을 사용하여 심자외선 영역에서 접착 재료의 흡수 문제를 해결합니다. 단일층 MgF₂ 무반사 코팅은 193nm에서 높은 투과율을 보장하는 동시에 탁월한 소광 성능을 유지합니다. 높은 레이저 손상 임계값을 갖도록 설계되어 ArF 엑시머 레이저 리소그래피 및 심자외선 레이저 가공과 같은 응용 분야에서 고정밀 편광 제어에 이상적입니다.
특징:
공기 간격
브루스터 앵글 커팅 근처
높은 편광 순도
심자외선 투과
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