당사의 VUV(진공 자외선) 맞춤형 편광판은 193nm에서 작동하는 고성능 레이저 시스템에 특화되어 설계되었으며, 가장 까다로운 DUV(심자외선) 응용 분야에서 탁월한 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 첨단 박막 기술과 초고순도 소재로 제작된 이 편광판은 최적의 투과 효율, 뛰어난 내구성, 그리고 강렬한 레이저 조사 조건에서도 장기적인 안정성을 보장합니다.
193nm 글랜-테일러 편광판 α-BBO 복굴절 결정을 사용하여 심자외선 영역에서 접착 재료의 흡수 문제를 해결합니다. 단일층 MgF₂ 무반사 코팅은 193nm에서 높은 투과율을 보장하는 동시에 탁월한 소광 성능을 유지합니다. 높은 레이저 손상 임계값을 갖도록 설계되어 ArF 엑시머 레이저 리소그래피 및 심자외선 레이저 가공과 같은 응용 분야에서 고정밀 편광 제어에 이상적입니다.
특징:
공기 간격
브루스터 앵글 커팅 근처
높은 편광 순도
심자외선 투과
193nm 글랜 레이저 프리즘 높은 광학 균일도를 가진 EUV 크리스털을 사용하여 좁은 대역폭에서 우수한 편광 안정성을 제공합니다. 정밀 패키징으로 광 경로 편차를 줄여 고정밀 심자외선 레이저 검출에 적합합니다.
특징:
공기 간격
브루스터 앵글 커팅 근처
높은 편광 순도
탈출창이 장착된
고전력 응용 분야에 적합
193nm 하위 순서 파장판심자외선 편광 장치인 는 입사광의 편광 상태를 정밀하게 조정합니다. 리소그래피 및 레이저 연구와 같은 DUV 시스템에 사용되며, 안정성과 정확성을 위해 193nm 방사선 저항성 소재로 제작되었습니다.
특징:
두께 : 0.1-0.5mm
높은 데미지 임계값
193nm 공기 간격 영차 파장판은 접착층이 없어 구조적 안정성과 노화 방지 성능이 뛰어납니다. 석영은 깊은 자외선 부식에 강하고, 지속적인 고출력 레이저 작동에 적합하며, 일관된 편광 제어 기능을 제공합니다. 특징:공기 간격두께 0.3~1.5mm높은 피해 임계값AR 코팅 및 장착
레이저용 VUV 맞춤형 편광판 시리즈는 193.368nm 파장에서 작동하며 160~250nm의 파장 범위를 커버합니다. 이 시리즈에는 VUV 박막형 크리스탈 편광판, Rochon 편광판, Glan 편광판, VUV 광시야각 파장판 등이 포함됩니다. 이 제품들은 다양한 레이저 응용 분야에 적합합니다. 높은 정밀도와 신뢰성을 바탕으로 진공 자외선 레이저 분야에 전문적인 편광 솔루션을 제공합니다. 과학 연구용이든 산업용이든 고객의 엄격한 광학 부품 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 필요하신 고객은 언제든지 문의해 주세요.
