193nm 하위 순서 파장판심자외선 편광 장치인 는 입사광의 편광 상태를 정밀하게 조정합니다. 리소그래피 및 레이저 연구와 같은 DUV 시스템에 사용되며, 안정성과 정확성을 위해 193nm 방사선 저항성 소재로 제작되었습니다.
특징: 두께 : 0.1-0.5mm 높은 데미지 임계값 |
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품목 번호 :
WPL제품 원산지 :
FuZhou명세서:
재료:
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석영
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직경 허용 오차:
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+0.0, -0.1mm
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파면 왜곡:
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λ/8 @ 632.8nm
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지연 허용도:
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λ/50
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병행:
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<1초각
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표면 품질:
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20/10
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클리어 애퍼처:
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>90%
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코팅:
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S1&S2: R<파장에서 0.2%
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표준파장:
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193.368nm
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193nm 제품:
반파장판 P/N#
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1/4 파장판 P/N#
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직경(mm)
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WPL-210-193
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WPL-410-193
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10.0
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WPL-212-193
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WPL-412-193
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12.7
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WPL-215-193
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WPL-415-193
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15.0
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WPL-220-193
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WPL-420-193
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20.0
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WPL-225-193
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WPL-425-193
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25.4
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WPL-230-193
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WPL-430-193
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30.0
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WPL-235-193
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WPL-435-193
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35.0
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WPL-250-193
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WPL-450-193
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50.0
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