193nm 하위 순서 파장판심자외선 편광 장치인 는 입사광의 편광 상태를 정밀하게 조정합니다. 리소그래피 및 레이저 연구와 같은 DUV 시스템에 사용되며, 안정성과 정확성을 위해 193nm 방사선 저항성 소재로 제작되었습니다.
특징:
두께 : 0.1-0.5mm
높은 데미지 임계값
다중차수 파장판 이는 광 경로의 지연이 부분 설계 지연 외에도 특정 횟수의 전체 파장 이동을 겪게 됨을 의미합니다. 다차 파장판의 두께는 항상 약 0.5mm입니다. 영차 파장판에 비해 다차 파장판은 파장 및 온도 변화에 더 민감합니다. 그러나 가격이 저렴하고 감도 증가가 중요하지 않은 많은 응용 분야에서 널리 사용됩니다.
특징:
두께 : 0.2-0.5mm
높은 데미지 임계값
더 나은 온도 대역폭
저렴한 비용
