193nm 글랜-테일러 편광판 α-BBO 복굴절 결정을 사용하여 심자외선 영역에서 접착 재료의 흡수 문제를 해결합니다. 단일층 MgF₂ 무반사 코팅은 193nm에서 높은 투과율을 보장하는 동시에 탁월한 소광 성능을 유지합니다. 높은 레이저 손상 임계값을 갖도록 설계되어 ArF 엑시머 레이저 리소그래피 및 심자외선 레이저 가공과 같은 응용 분야에서 고정밀 편광 제어에 이상적입니다.
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특징: 공기 간격 브루스터 앵글 커팅 근처 높은 편광 순도 심자외선 투과 |
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품목 번호 :
GTP-193제품 원산지 :
FuZhou명세서:
| 재료: | 심자외선 물질 |
| 파장 범위: | 193.368nm |
| 멸종 비율: | <1x10-4 |
| 병행: | <1호 최소 |
| 표면 품질: | 20/10 |
| 빔 편차: | < 3분각 |
| 파형 왜곡: | 1/4@632.8nm |
| 피해 임계값: | >200MW/cm2 |
193nm 글랜 테일러 편광판
| 부품 번호 | 파장 범위(nm) | 멸종 비율 | 각도 필드(°) | CA fa(mm) | 외경 fd(mm) | 길이 ±0.1(mm) |
| GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
| GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
| GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
| GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
| GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
| GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
| GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
기술적 이점 193nm 글랜-테일러 편광판：
193nm 글랜-테일러 편광판은 193nm에서 매우 낮은 흡수율과 뛰어난 투과율을 가진 심자외선(deep-UV) 호환 소재를 사용하여 편광 방향을 정밀하게 유지합니다. 에어갭 설계는 심자외선에서 접착제의 흡수 간섭을 방지하며, 전용 반사 방지 코팅과 결합하여 반사 손실을 줄여 고출력 심자외선 레이저 사용에 적합합니다.
193nm 글랜-테일러 편광판 α-BBO 복굴절 결정을 사용하여 심자외선 영역에서 접착 재료의 흡수 문제를 해결합니다. 단일층 MgF₂ 무반사 코팅은 193nm에서 높은 투과율을 보장하는 동시에 탁월한 소광 성능을 유지합니다. 높은 레이저 손상 임계값을 갖도록 설계되어 ArF 엑시머 레이저 리소그래피 및 심자외선 레이저 가공과 같은 응용 분야에서 고정밀 편광 제어에 이상적입니다. 특징: 공기 간격 브루스터 앵글 커팅 근처 높은 편광 순도 심자외선 투과
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