193nm 공기 간격 영차 파장판은 접착층이 없어 구조적 안정성과 노화 방지 성능이 뛰어납니다. 석영은 깊은 자외선 부식에 강하고, 지속적인 고출력 레이저 작동에 적합하며, 일관된 편광 제어 기능을 제공합니다.
특징: 공기 간격 두께 0.3~1.5mm 높은 피해 임계값 AR 코팅 및 장착 |  |
품목 번호 :
WPA-193nm제품 원산지 :
FuZhou명세서:
재료: | 석영 |
직경 허용 오차: | +0.0, -0.1mm |
파면 왜곡 : | λ/8 @ 632.8nm |
지연 허용도: | λ/50 |
병행: | <1초각 |
표면 품질: | 20/10 |
클리어 조리개: | >80% |
코팅: | S1&S2: R<파장에서 0.2% |
표준 파장: | 193nm |
표준 제품:
반파장판 P/N# | 1/4 파장판 P/N# | 직경(mm) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30.0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35.0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50.0 |
193nm 공기 간격 영차 파장판의 기술적 장점:
193nm 에어갭 파장판은 이중 석영 공기 간격 구조를 사용하여 재료 흡수 손실을 크게 줄이고, ArF 엑시머 레이저와 같은 심자외선 대역에서 탁월한 투과율을 제공합니다. 에어갭 설계는 접합으로 인한 열응력을 방지하여 장기간 고출력 레이저 작동을 견뎌냅니다. 이온 빔 마감 처리를 통해 나노스케일 표면 평탄도를 달성하여 산란 손실을 크게 줄이고 파면 품질을 최적화하여 리소그래피의 고정밀 편광 제어에 적합합니다.
193nm 글랜-테일러 편광판 α-BBO 복굴절 결정을 사용하여 심자외선 영역에서 접착 재료의 흡수 문제를 해결합니다. 단일층 MgF₂ 무반사 코팅은 193nm에서 높은 투과율을 보장하는 동시에 탁월한 소광 성능을 유지합니다. 높은 레이저 손상 임계값을 갖도록 설계되어 ArF 엑시머 레이저 리소그래피 및 심자외선 레이저 가공과 같은 응용 분야에서 고정밀 편광 제어에 이상적입니다. 특징:공기 간격브루스터 앵글 커팅 근처높은 편광 순도심자외선 투과
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193nm 글랜 레이저 프리즘 높은 광학 균일도를 가진 EUV 크리스털을 사용하여 좁은 대역폭에서 우수한 편광 안정성을 제공합니다. 정밀 패키징으로 광 경로 편차를 줄여 고정밀 심자외선 레이저 검출에 적합합니다. 특징:공기 간격브루스터 앵글 커팅 근처높은 편광 순도탈출창이 장착된고전력 응용 분야에 적합
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로콘 편광판 울라스톤 편광판과 같이 입사 광선을 일반 광선과 비정상 광선으로 분리하지만, 비정상 광선은 직접 투과되는 반면 일반 광선은 편차 각도를 가지고 투과됩니다. 특징: 광학적으로 접촉됨 높은 편광 순도 저전력 또는 고전력 응용 분야에 적합
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193nm 하위 순서 파장판심자외선 편광 장치인 는 입사광의 편광 상태를 정밀하게 조정합니다. 리소그래피 및 레이저 연구와 같은 DUV 시스템에 사용되며, 안정성과 정확성을 위해 193nm 방사선 저항성 소재로 제작되었습니다. 특징: 두께 : 0.1-0.5mm 높은 데미지 임계값
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193nm 공기 간격 영차 파장판은 접착층이 없어 구조적 안정성과 노화 방지 성능이 뛰어납니다. 석영은 깊은 자외선 부식에 강하고, 지속적인 고출력 레이저 작동에 적합하며, 일관된 편광 제어 기능을 제공합니다. 특징:공기 간격두께 0.3~1.5mm높은 피해 임계값AR 코팅 및 장착
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